ALD150 — лабораторная установка атомно-слоевого осаждения (ALD)

Полностью автоматизированная автономная система термического атомно-слоевого осаждения (ALD) может наносить пленки без точечных отверстий с исключительной точностью поверхности. Система может вмещать пластины размером до 6 дюймов в диаметре и газовый коллектор для шести линий прекурсоров.

• Подбор решения
• Поставка и запуск
• Сервисная поддержка