Стилусные профилометры
Контактные профилометры — это сверхточные приборы для измерения микропрофиля, который используется для измерения микро морфологических параметров, таких как высота ступени, толщина пленки, шероховатость поверхности и т.д. Во время измерения поверхность образца сканируется с помощью алмазного наконечника радиусом 2 мкм. Расстояние вертикального перемещения стилуса преобразуется в электрический сигнал, соответствующий характерному размеру объекта, преобразуется в цифровую точку сигнал облака точек который представлен в аналитическом программном обеспечении используются различные инструменты анализа, для получения данных о качестве поверхности, таких как высота ступени или шероховатость
| Размер пластины | 150 мм, 200 мм |
|---|---|
| Диапазон щупа | 330 мкм / 1 мм |
| Разрешение | <0,01 Å |
| Скорость сканирования | 2 мкм/с – 10 мм/с |
| Повторяемость | 5 Å, при 330 мкм / 10 Å, при 1 мм |
- Подбор решения
- Поставка и запуск
- Сервисная поддержка