Криогенные зондовые станции
Криогенные зондовые станции позволяют производить измерения при положительных и отрицательных температурах, а также в условиях вакуума.
| Вакуумная камера | 8” |
|---|---|
| Разрешение | 3 мкм |
| Точность повторного позиционирования | ± 2 мкм |
| Прямолинейность | ± 2 мкм |
| Макс. температура | 600 °С |
| Мин. температура | -142 °С |
- Подбор решения
- Поставка и запуск
- Сервисная поддержка